Mechanical Engineering

wahyukurniawan.web.id

MICROSCOPE
PENDAHULUAN

MIKROSKOP OPTIK

SEM (SCANNING ELECTRON MICROSCOPE)

Page 1
Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

TEM (TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE)

Karakteristik Mikroskop Optik (Optical Microscope), SEM (Scanning

Electron Microscope) , dan TEM (Transmission Electron Microscope)

No Perbedaan Mikroskop Optik SEM TEM

1 Sumber Cahaya atau lampu Elektron beam yang Elektron beam

berasal dari filament yang berasal dari
tungsten pada electron filament tungsten
gun pada electron gun
2 Perbesaran 1 X s.d 1400 X 10 X s.d 100.000 X 1000 X s.d
(Magnitude) 1.000.000 X
3 Kedalaman Fokus 0,1 mm - 1 µm 10 mm - 1 µm 10 mm - 1 µm
(Depth of focus)
4 Resolusi 0,2 mm – 0,2 µm 0,02 mm - 0.2 nm (20Å) 10 nm s.d 0.2 nm
(Resolution Range) (2Å)
5 Pengamatan Hanya bisa Bisa mengamati bahan Hanya bisa
mengamati 1 uji 3 dimensi mengamati satu
bidang bidang
6 Lensa Biasanya terbuat Terbuat dari Terbuat dari
dari gelas elektromagnetik elektromagnetik
7 Field Range 100 mm s.d 0,1 mm 10 mm s.d 1 µm 10 µm s.d 0,1 µm
8 Sinyal Sinyal hanya Sinyal berbeda-beda Sinyal hanya
berupa gambar tergantung proses berupa gambar

Page 2
Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

Prinsip Kerja Mikroskop Optik (Optical Microscope), SEM (Scanning

Electron Microscope) , dan TEM (Transmission Electron Microscope)

OPTICAL MICROSCOPE (MIKROSKOP OPTIS) adalah jenis

mikroskop yang menggunakan cahaya dan sistem lensa yang memperbesar tampilan
sampel yang kecil. Mikroskop optis merupakan mikroskop paling sederhana dan
tertua. Saat ini, mikroskop digital sudah menggunakan kamera CCD untuk menguji
sampel dan tampilannya ditunjukkan pada layar computer

Cara Kerja

Komponen optis mikroskop modern sangat komplek. Agar dapat bekerja

optimal diperlukan penyetelan dan pengaturan yang tepat. Namun demikian, prinsip
kerjanya adalah sebagai berikut:
1. Lensa obyektif adalah kaca pem
pembesar
besar dengan daya tinggi dengan kata lain
lensa dengan panjang titik api sangat pendek. Hal ini akan memperbesar
bayangan subyek. Bayangan ini terbalik dan dapat terlihat dengan
menggerakkan lensa mata okuler dan menempatkan selembar kertas
transparan di aatas
tas ujung tabung. Bayangan nyata ini diamati dengan lensa
mata okuler yang meneruskan pembesaran berikutnya.
2. Pada kebanyakan mikroskop, lensa mata okuler adalah lensa kombinasi, satu
lensa di depan dan satunya di belakang dekat tabung lensa okuler. Dalam
kebanyakan
ebanyakan disain, bayangan sebenarnya terfokus antara dua lensa mata
okuler, lensa pertama membawa bayangan nyata yang terfokus dan lensa
kedua memungkinkan mata focus pada bayangan sebenarnya
3. Pada semua mikroskop, bayangan diamati dengan mata terfokus pada pad tak
terbatas (artinya posisi mata di atas gambar ditentukan oleh fokus mata).
Pusing dan mata lelah sesudah menggunakan mikroskop ini biasanya
menandakan bahwa mata yang dipaksa memfokuskan pada jarak tertutup
sudah cukup.

Page 3
Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

Mikroskop elektron menggunakan elektro statik dan elektromagnetik yang dapat

mengontrol pencahayaan dan tampilan gambar serta memiliki kemampuan
memperbesar obyek dengan resolusi yang lebih tinggi bila dibandingkan mikroskop
cahaya. Mikroskop elektron ini menggunakan energi yang lebih banyak dan radiasi
elektromagnetik yang lebih pendek dibandingkan mikroskop cahaya. Pembesaran
obyek pada mikroskop electron mencapai 2 juta kali.

Elektron yang dipercepat dalam suatu kolom elektromagnet, dalam hampa

udara (vakum) memiliki karakter seperti cahaya, dengan panjang gelombang 100.000
kali lebih kecil dari cahaya. Medan listrik dan medan magnet dapat berperan sebagai
lensa dan cermin seperti pada lensa gelas dalam mikroskop cahaya.

Terdapat dua jenis mikroskop electron, yaitu: TEM (transmission electron

microscope) dan SEM (scanning electron microscope).

TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE (TEM)

TEM dikembangkan oleh Dr. Ernst Ruska yang menggunakan tiga lensa
medan magnet dengan resolusi sangat tinggi. Cara kerja TEM mirip dengan
proyektor slide, di mana elektron ditembuskan ke dalam obyek pengamatan dan
pengamat mengamati hasil tembusannya pada layar.

Cara Kerja

TEM bekerja pada sample layaknya slide proyektor dimana berkas sinar
elektron melalui sample padat yang sangat tipis dengan ketebalan 5m. Sinar yang
ditransmisikan diproyeksikan ke dalam layar phosphor untuk dapat melihatnya.
Prinsip kerja TEM :

1. Sumber elektron berada pada bagian atas yaitu elektron gun yang
menghasilkan berkas cahaya elektron monokromatik (monochromatic
electrons)
2. Berkas tersebut difokuskan menjadi, tipis dan koheren beam dengan
menggunakan lensa kondensor I dan II. Lensa kondensor pertama berfungsi
sebagai kontrol ukuran (spot size knob) beasarnya menentukan ukuran spot,
ukuran umum akhir spot diarahkan ke lensa kondensor kedua sebagai kontrol
terhadap intensitas atau pencahayaan (Intensity or brightness knob) tepatnya

Page 4
Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

merubah ukuran dari spot yang mengenai sample, perubahan dari sinar lebar
terdispersimenjadi sinar elektron terfokus.
3. Berkas elektron diarahkan oleh kondensor lubang lensa (condensor aparture)
dengan pemilihan, memisahkan berkas elektron bersudut besar jauh dari
sumbu cahaya optik.
4. Berkas elektron diarahkan ke sample dan sebagian sinar tersebut
ditransmisikan.
5. Sinar yang ditransmisikan difokuskan oleh lensa obyektif menjadi sebuah
bayangan
6. Lensa obyektif dan area pemilihan pada lubang logam dapat dibatasi oleh
beam, lubang ojek dapat ditingkatkan kontrasnya dengan memblok sudut
besar elektron terdifraksi, pemilihan ojek lubang dapat ditentukan dengan
difraksi terperiode dari elketron dengan urutan susunan dari atom-atom dari
sample.
7. Bayangan yang dilewatkan melalui calon perantara dan lensa projektor dapat
diperbesar dengan semua cara.
8. Bayangan yang mengarah layar phopor dan cahaya terang diperkuat, sesuai
kemauan pengguna untuk melihat bayangan. Daerah gelap dari bayangan
memunculkan area dari sample adalah lebih sedikit dari sinar yang
ditransmisikan. Area yang lebih terang dari bayang dimanculkan lebih
banyak sinar yang ditransmisikan.

Mikroskop transmisi eletron saat ini telah mengalami peningkatan kinerja

hingga menghasilkan resolusi hingga 0,1 nm (atau 1 angstrom) atau sama dengan
pembesaran sampai satu juta kali. Namun mikroskop ini mensyaratkan obyek
pengamatan harus setipis mungkin. Hal ini sangat menyulitkan untuk material yang
tidak dapat dipertipis. Persiapan sampel dapat dilakukan sebagai berikut:

1. Fiksasi. Langkah ini bertujuan untuk mematikan sel tanpa mengubah struktur
sel yang akan diamati. Fiksasi dapat dilakukan dengan menggunakan
senyawa glutaraldehida atau osmium tetroksida.
2. Pembuatan sayatan. Sampel dipotong hingga setipis mungkin agar mudah
diamati di bawah mikroskop. Preparat dilapisi dengan monomer resin melalui
proses pemanasan, kemudian dilanjutkan dengan pemotongan menggunakan

Page 5
Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

mikrotom. Umumnya mata pisau mikrotom terbuat dari berlian karena berlian
tersusun dari atom karbon yang padat.
3. Pelapisan/pewarnaan, bertujuan untuk memperbesar kontras antara preparat
yang akan diamati dengan lingkungan sekitarnya. Pelapisan/pewarnaan dapat
menggunakan logam berat seperti uranium dan timbal.

MIKROSKOP PEMINDAI ELEKTRON/

SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)
Pada 1942 tiga orang ilmuwan Amerika yaitu Dr. Vladimir Kosma Zworykin,
Dr. James Hillier, dan Dr. Snijder, mengembangkan sebuah mikroskop elektron
metode pemindaian (SEM) dengan resolusi hingga 50 nm atau magnifikasi 8.000
kali. Sedangkan SEM modern mempunyai resolusi hingga 1 nm atau pembesaran
400.000 kali. Mikroskop elektron ini memfokuskan sinar elektron (electron beam) di
permukaan obyek dan mengambil gambarnya dengan mendeteksi elektron yang
muncul dari permukaan obyek.

Prinsip kerja SEM.

1. Elektron dibangkitkan dari filament bertegangan tinggi V= 30 KV akan

berfungsi sebagai electron gun. Electron yang dibakitkan berupa berkas
electron monokromatik, skema electron gun. Berkas electron dipadatkan
(condensed) oleh lensa kondensor I, lensa ini digunakan untuk mebentuk
electron terarah dan membuat cahaya terarah, cara kerja dengan
mengeliminasi berkas electron dengan sudut besar dari yang terarah (beam)
berkas electron terarah, cara kerja dengan mengeliminasi berkas electron
dengan sudut besar dari yang terarah (beam), berkas electron terarah
kemudian dikerutkan oleh kondensor.
2. Pada lensa kondensor kedua membentuk cahaya electron menjadi tipis, rapat
dan koheren yang akan dikontrol oleh fine probe current knob
3. Melalui coil scan dilakukan scanning electron terarah dalam jaringan pola
pada titik tertentu dalam periode tertentu dalam waktu yang ditentukan oleh
kecepatan scan (biasanya dalam beberapa mikrodetik)
4. Pada lensa objektif scan terarah difokuskan pada benda uji yang diamati.

Page 6
 Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

5. Ketika elektron terarah mengenai benda uji (pada suatu titik dalam beberapa
mikro detik) akan terjadi interaksi dalam sample dan dideteksi oleh beberapa
instrumen.
6. Sebelum berkas elektron terarah berpindah dari titik ke titik berikutnya
instrumen akan menghitung jumlah interaksi tersebut dan ditampilkan adalah
pixel pada CRT (Cathode Ray Tube) dengan intensitas ditentukan oleh
jumlah hitungan tersebut (reaksi lebih banyak dalam pixel terang). Dari
display CRT akan dapat dilihat gambar (image) dari hasil pengamatan.
7. proses ini diulangi sampai jaringan scan selesai dan diulang lagi, hingga
membentuk pola dengan scan hingga 3 kali per detik.

Persiapan Sampel. Agar pengamat dapat mengamati preparat dengan baik,

diperlukan persiapan sampel sebagai berikut :

1. Melakukan fiksasi, yang bertujuan untuk mematikan sel tanpa mengubah

struktur sel yang akan diamati. Fiksasi dapat dilakukan dengan menggunakan
senyawa glutaraldehida atau osmium tetroksida.
2. Dehidrasi, yang bertujuan untuk menurunkan kadar air dalam sayatan
sehingga tidak mengganggu proses pengamatan.
3. Pelapisan/pewarnaan, bertujuan untuk memperbesar kontras antara preparat
yang akan diamati dengan lingkungan sekitarnya. Pelapisan/pewarnaan dapat
menggunakan logam mulia seperti emas dan platina.

Kegunaan dan informasi yang diperoleh dari Mikroskop Optik (Optical

Microscope), SEM (Scanning Electron Microscope) , dan TEM (Transmission
Electron Microscope)

Mikroskop Optik (Optical Microscope),

Di bidang biomedis, kemampuan microscopist hanya dibatasi oleh

kapasitas-nya untuk membedakan berbagai karakteristik dari struktur jaringan, baik
tumbuhan, hewan, maupun manusia, yaitu mengandalkan hampir sepenuhnya pada
morfologi ciri-ciri sel dan jaringan.
Dalam ilmu bahan, banyak kemiripan, namun strukturnya mungkin berbeda
secara internal. Cahaya putih biasa tidak dapat digunakan untuk mempelajari bahan-
bahan, tersebut terutama karena cahaya yang bergetar di segala penjuru dan terdiri dari

Page 7
 Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

berbagai panjang gelombang.. Instrumen pilihan untuk studi bahan adalah mikroskop
cahaya terpolarisasi. Dengan menggunakan microskop optic kita dapat melihat
struktur material dengan pembesaran hingga 1000 kali. Sebagai contoh kita dapat
menggunakan mikroskop optik untuk memperkirakan diameter dari serat tunggal yang
akan digunakan untuk pembuatan komposit.
Data yang dapat diperoleh menggunakan mikroskop optik adalah
memberikan beberapa karakteristik seperti bentuk, ukuran, warna, indeks bias,
elongation, sudut, sistem Kristal.

TEM (Transmission Electron Microscope)

Elektron tembus dapat menunjukkan distribusi unsur atau dapat memberikan

informasi citra gambar tembus.

TEM (Transmission Electron Microscope)

Apabila dipasang detektor untuk menangkap elektron pantulan dan elektron turunan
akan diperoleh gambaran topografi permukaan.

Informasi yang dapat diperoleh dari mikroskop

Sinyal yang Modus

Jenis Informasi
digunakan kerja

E. tembus transmitif Struktur internal,

topografi

E. terserap absorptif Topografi, permukaan,

komposisi

E. turunan emisif Topografi, permukaan, variasi

E. pantulan reflektif Komposisi, variasai, orientasi kristalografi.

E. terbaur difraktif Susunan atom, susunan renik.

Sinar X mikroanalisis Penetapan komposisi, pembedaan unsur

Katodolominesen luminesensi Fase kontras, struktur bawah permukaan.

Page 8
 Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

Contoh gambar mikroskop Optik (Optical Microscope), SEM (Scanning

Electron Microscope) , dan TEM (Transmission Electron Microscope)

Optik (Optical Microscope)

Gambar 1 Permukaan Aluminium dengan menggunakan microscope optic

Gambar 2. Permukaan iron dengan menggunakan microscope optic

SEM (Scanning Electron Microscope)

Gambar 1. Permukaan Aluminium dengan menggunakan SEM (Scanning Electron

Microscope)

Page 9
 Mechanical Engineering
wahyukurniawan.web.id

Gambar 2. Permukaan Stainless Steel dengan menggunakan SEM (Scanning Electron

Microscope)

TEM (Transmission Electron Microscope)

Gambar 1. Permukaan aluminium dengan menggunakan TEM (Transmission Electron

Microscope)

Gambar 2. Permukaan Stainless Steel dengan menggunakan TEM (Transmission

Electron Microscope)

Page

10