BAB 1 PENDAHULUAN 1.

1 Pengertian SEM Scanning Electron Microscopy (SEM) digunakan untuk mengamati detil permukaan sel atau struktur mikroskopik lainnya, dan dan mampu menampilkan pengamatan obyek secara tiga dimensi. Scanning Electron Microscopy (SEM) adalah elektron yang menggambarkan sampel dengan memindai seberkas elektron dalam pola scan raster. Elektron berinteraksi dengan atom yang menyusun sampel yang menghasilkan sinyal yang berisi informasi tentang topografi permukaan sampel, komposisi dan sifat – sifat lainnya seperti konduktivitas listrik. Fungsi mikroskop elektron scanning atau SEM adalah dengan memindai terfokus balok halus elektron ke sampel.Elektron berinteraksi dengan sampel komposisi molekul. Energi dari elektron menuju ke sampel secara langsung dalam proporsi jenis interaksi elektron yang dihasilkan dari sampel. Serangkaian energi elektron terukur dapat dihasilkan yang dianalisis oleh sebuah mikroprosesor yang canggih yang menciptakan gambar tiga dimensi atau spektrum elemen yang unik yang ada dalam sampel dianalisis.Ini adalah rangkaian elektron yang dibelokkan oleh tumbukan dengan elektron sampel.Sebelum menjelajahi jenis elektron dihasilkan oleh SEM khas, pemahaman dasar dari teori elemen yang dikelilingi diklasifikasikan tabel periodik perlu disebutkan. Tergantung pada jenis informasi analis yang tertarik pada jenis elektron satu studi. Setiap elektron yang dihasilkan dari berkas elektron primer yang dihasilkan oleh SEM ketika melanggar sampel yang diberikan menghasilkan elektron energi tertentu yang dapat diukur.Jenis-jenis elektron yang dihasilkan untuk setiap contoh yang diberikan perlu terlebih dahulu dieksplorasi.Elektron yang dihasilkan dari komposisi molekul sampel diklasifikasikan sebagai baik dan elektron inelastis elastis. Elektron inelastik adalah elektron energi rendah dibelokkan dari sampel.Kebanyakan diserap oleh spesimen, tetapi mereka yang melarikan diri dekat permukaan.Elektron ini disebut elektron sekunder, yaitu energi elektron muncul kurang dari 50eV, 90% dari elektron sekunder memiliki energi kurang dari 10 eV, sebagian besar dari 2 sampai 5 eV.Elektron sekunder memberikan informasi topografi permukaan dan putih, tiga dimensi gambar hitam sampel.Ini adalah gambar paling umum kebanyakan orang mengasosiasikan dengan SEM.Elektron elastis adalah setiap elektron yang berinteraksi dengan berkas

   Cathodluminescence-menunjukkan dan energi tingkat distribusi di fosfor. Sebuah SEM khas memiliki kemampuan untuk menganalisa suatu sampel tertentu menggunakan salah satu metode yang disebutkan di atas. universitas.elektron utama untuk menghasilkan energi spesifik dari tabrakan dan menahan sebagian besar energinya. sekarang telah lazim untuk bisnis dan organisasi-organisasi memperkenalkan alat analisa „Energy Dispersive X-Ray‟ (EDX) pada waktu yang bersamaan dengan pembelian SEM. Karakteristik X-ray radiasi-hasil Mikroanalisis dan distribusi unsur-unsur sampel yang diberikan.Yang paling umum aksesori dilengkapi dengan SEM adalah dispersif energi x-ray detektor atau EDX (kadangkadang disebut sebagai EDS). Demikian juga dengan munculnya kebutuhan untuk memahami komposisi dan distribusi dari unsur-unsur disamping untuk mengamati bentuk material. SEM berubah melebihi pusat bursa yang berkisar pada pusatpusat penelitian. pada variasi unsur dalam sampel.Elektron ini dikategorikan sebagai:  Elektron Backscattered-menghasilkan komposisi dan crystallographical informasi permukaan.  Diserap saat ini yang memungkinkan studi struktur internal semi-konduktor atau (EBIC). topologi. Dengan biaya-biaya dari Scanning Electron Microscopes (SEM) yang turun dalam beberapa tahun terakhir. „Backscattered electron‟ terlepas dari daerah sampel yang lebih dalam dan memberikan . melewati sampel dan kemudian mendeteksi „secondary electron‟ dan „backscattered electron‟ yang dikeluarkan. dan sebagainya menjadi suatu alat yang aplikasinya lebih luas yang mencakup sekolah-sekolah tinggi dan divisi pengendalian mutu dari banyak industri. elektron Auger-berisi informasi dan kimia unsur dari lapisan permukaan. 1. „Secondary electron‟ berasal pada 5-15 nm dari permukaan sampel dan memberikan informasi topografi dan untuk tingkat yang kurang. pusat-pusat analisis.2 Prinsip Kerja SEM membentuk suatu gambar dengan menembakkan suatu sinar electron berenergi tinggi. biasanya dengan energi dari 1 hingga 20 keV. Sayangnya. setiap jenis analisis dianggap merupakan tambahan perangkat aksesori untuk SEM.Jenis detektor memungkinkan pengguna untuk menganalisis sampel komposisi molekul.

3 Prinsip Operasi Insiden elektron sinar membangkitkan elektron dalam keadaan energi yang lebih rendah. Peristiwa tumbukan berkas sinar electron. gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru (elektron sekunder) atau elektron pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika . Dalam unsur-unsur berat seperti tungsten. yang cenderung menekankan sifat topografi spesimen  elektron primer dapat backscattered yang menghasilkan gambar dengan tingkat tinggi nomor atom kontras (Z)  atom terionisasi dapat bersantai transisi elektron shell-ke-shell. 2010 ).85 eV. 2010 ). dapat menyebabkan emisi dari sinar-x yang merupakan karakteristik dari atomatom sampel. yang mengakibatkan baik emisi X-ray atau elektron Auger ejeksi. kehadiran tembaga ditunjukkan oleh dua K puncak disebut demikian (K dan K α β) pada sekitar 8.Elektron dari kulit. 2009 ). Energi dari sinar-x digolongkan dalam suatu tebaran energi spectrometer dan dapat digunakan untuk identifikasi unsur-unsur dalam sampel.informasi terutama pada jumlah atom rata-rata dari sampel. sebuah ot transisi yang berbeda yang mungkin dan banyak puncak karena itu hadir( Irawan. mendorong ejeksi mereka dan mengakibatkan pembentukan lubang elektron dalam struktur elektronik atom. energi luar yang lebih tinggi kemudian mengisi lubang. Pelepasan ini sinar-X menciptakan garis spektrum yang sangat spesifik untuk setiap elemen. Pada SEM. dan kelebihan energi elektron tersebut dilepaskan dalam bentuk foton sinar-X.0 dan 8. Sebagai contoh. Skema perbandingan antara TEM dan SEM disajikan oleh gambar 1 dibawah ini. 1. Berkas elektron primer berinteraksi dengan sampel di sejumlah cara kunci:  elektron primer menghasilkan elektron energi yang rendah sekunder.9 keV dan puncak α L pada 0. yaitu ketika memberikan energi pada sampel. Sinar-X dipancarkan merupakan karakteristik dari unsur-unsur dalam beberapa pM atas sampel( Martinez. Pada SEM sampel tidak ditembus oleh elektron sehingga hanya pendaran hasil dari tumbukan elektron dengan sampel yang ditangkap oleh detektor dan diolah( Oktoviawan. Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada mikroskop optic dan TEM. Dengan cara ini data X-ray emisi dapat dianalisis untuk karakterisasi sampel di pertanyaan.

atomic force microscope (AFM) dan scanning near-field optical microscope (SNOM). Ini merupakan kelemahan SEM yang belum diketahui pemecahannya. yang dikenal dengan “scanning probe microscopy (SPM)”. . Pengukuran tepat dari fitur yang sangat kecil dan bendabenda ke 50 nm dalam ukuran juga dicapai dengan menggunakan SEM. dan 3) peta komposisi berdasarkan perbedaan "activitors" elemen jejak (biasanya logam transisi dan unsur LTJ) dengan menggunakan CL . reflektivitas dsb) 2. sehingga bisa digunakan untuk melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi. sejak sekitar tahun 1970-an. 1. kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT (cathode ray tube). SEM dilengkapi dengan difraksi elektron detektor backscattered ( EBSD ) dapat digunakan untuk memeriksa orientasi microfabric dan kristalografi dalam banyak bahan. Pada proses operasinya. SEM tidak memerlukan sampel yang ditipiskan. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel 3. telah dikembangkan mikroskop baru yang mempunyai resolusi tinggi baik secara horizontal maupun secara vertikal. Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan. Aplikasi dari teknik SEM – EDS dirangkum sebagai berikut: 1.permukaan sampel tersebut discan dengan sinar elektron. Mikroskop tipe ini banyak digunakan dalam riset teknologi nano. SEM juga banyak digunakan untuk mengidentifikasi fase berdasarkan analisis kimia kualitatif dan / atau struktur kristal. Namun demikian. Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar bisa dilihat. Elektron sekunder atau elektron pantul yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya. resolusi tinggi tersebut didapatkan untuk scan dalam arah horizontal. Meskipun demikian. Mikroskop yang sekarang dikenal mempunyai tipe ini adalahscanning tunneling microscope (STM). Demikian. SPM mempunyai prinsip kerja yang berbeda dari SEM maupun TEM dan merupakan generasi baru dari tipe mikroskop scan. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif dan kualitatif.4 Aplikasi SEM SEM secara rutin digunakan untuk menghasilkan gambar resolusi tinggi dari bentuk benda (SEI) dan untuk menunjukkan variasi spasial dalam komposisi kimia: 1) memperoleh peta elemental atau tempat analisis kimia menggunakan EDS 2) diskriminasi fase berdasarkan nomor atom rata-rata ( umum yang berkaitan dengan kepadatan relatif) menggunakan BSE . sedangkan scan secara vertikal (tinggi rendahnya struktur) resolusinya rendah. Gambar elektron Backescattered ( BSE ) dapat digunakan untuk diskriminasi yang cepat dari fase dalam sampel multifase. SEM mempunyai resolusi tinggi dan familiar untuk mengamati obyek benda berukuran nano meter.

.Alat SEM yang digunakan adalah SEM JEOSEMdapatmemberikan informasi tentang strukturmikro permukaan sampel dan melihat morfologi serbuk hidroksiapatit.

Sign up to vote on this title
UsefulNot useful